Bibliographic Details
| Title: |
Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин |
| Publisher Information: |
БГУИР, 2014. |
| Publication Year: |
2014 |
| Subject Terms: |
СВЧ разряд, материалы конференций, СВЧ плазмохимическая обработка |
| Description: |
Представлены результаты исследований процесса СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин, который заключается в предварительном нагреве полупроводниковых пластин СВЧ энергией. |
| Document Type: |
Article |
| Language: |
Russian |
| Access URL: |
https://openrepository.ru/article?id=215426 |
| Accession Number: |
edsair.httpsopenrep..720e3b7e9204671a81061f10a39e782b |
| Database: |
OpenAIRE |