Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
| Τίτλος: |
Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин |
| Στοιχεία εκδότη: |
БГУИР, 2014. |
| Έτος έκδοσης: |
2014 |
| Θεματικοί όροι: |
СВЧ разряд, материалы конференций, СВЧ плазмохимическая обработка |
| Περιγραφή: |
Представлены результаты исследований процесса СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин, который заключается в предварительном нагреве полупроводниковых пластин СВЧ энергией. |
| Τύπος εγγράφου: |
Article |
| Γλώσσα: |
Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: |
https://openrepository.ru/article?id=215426 |
| Αριθμός Καταχώρησης: |
edsair.httpsopenrep..720e3b7e9204671a81061f10a39e782b |
| Βάση Δεδομένων: |
OpenAIRE |