Book
Испытание и диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники. Введение в электронную микроскопию
| Τίτλος: | Испытание и диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники. Введение в электронную микроскопию |
|---|---|
| Συνεισφορές: | Сибирский федеральный университет, Институт инженерной физики и радиоэлектроники, Гардымова, Анна Петровна |
| Στοιχεία εκδότη: | СФУ, 2015. |
| Έτος έκδοσης: | 2015 |
| Θεματικοί όροι: | учебно-методические пособия, исследование материалов, физика, наноэлектроника, физические основы электроники, электронная микроскопия, 537.533.35(07) |
| Περιγραφή: | Содержит теоретические сведения о методах исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники по средствам электронной микроскопии. Предназначено для студентов очной формы обучения направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату. Учеб.-метод. пособие [для студентов напр. подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»]. http://catalog.sfu-kras.ru/ftext?%D0%91%D0%91%D0%9A22.3%2F%D0%98887-947011234 |
| Τύπος εγγράφου: | Book |
| Γλώσσα: | Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: | https://openrepository.ru/article?id=449956 |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.httpsopenrep..33f9527f507fe90fb12381797e1eee2e |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
| Η περιγραφή δεν είναι διαθέσιμη |