Book
Испытание и диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники. Введение в электронную микроскопию
| Title: | Испытание и диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники. Введение в электронную микроскопию |
|---|---|
| Contributors: | Сибирский федеральный университет, Институт инженерной физики и радиоэлектроники, Гардымова, Анна Петровна |
| Publisher Information: | СФУ, 2015. |
| Publication Year: | 2015 |
| Subject Terms: | учебно-методические пособия, исследование материалов, физика, наноэлектроника, физические основы электроники, электронная микроскопия, 537.533.35(07) |
| Description: | Содержит теоретические сведения о методах исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники по средствам электронной микроскопии. Предназначено для студентов очной формы обучения направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату. Учеб.-метод. пособие [для студентов напр. подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»]. http://catalog.sfu-kras.ru/ftext?%D0%91%D0%91%D0%9A22.3%2F%D0%98887-947011234 |
| Document Type: | Book |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://openrepository.ru/article?id=449956 |
| Accession Number: | edsair.httpsopenrep..33f9527f507fe90fb12381797e1eee2e |
| Database: | OpenAIRE |
| Description not available. |