Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
| Τίτλος: |
Размерные эффекты при импульсном отжиге тонких плёнок оксида гафния |
| Στοιχεία εκδότη: |
Тверской государственный университет, 2018. |
| Έτος έκδοσης: |
2018 |
| Θεματικοί όροι: |
537.226.4 Сегнетоэлектричество |
| Περιγραφή: |
Исследован размерный эффект остаточной поляризации в тонких пленках оксида гафния, легированного цирконием и подвергнутых импульсному термическому отжигу. Измерена остаточная поляризация структур, содержащих слои Hf0.5Zn0.5O2 с толщиной от 10 до 54 нм. Показано, что с увеличением толщины удвоенная остаточная поляризация уменьшается в 2.5 раза с 16 до 6 мкКл/см2 |
| Τύπος εγγράφου: |
Article |
| Περιγραφή αρχείου: |
application/pdf |
| Γλώσσα: |
Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: |
https://openrepository.ru/article?id=439040 |
| Αριθμός Καταχώρησης: |
edsair.httpsopenrep..2cc54d638663a24f1e652244bbb11263 |
| Βάση Δεδομένων: |
OpenAIRE |