Bibliographic Details
| Title: |
Размерные эффекты при импульсном отжиге тонких плёнок оксида гафния |
| Publisher Information: |
Тверской государственный университет, 2018. |
| Publication Year: |
2018 |
| Subject Terms: |
537.226.4 Сегнетоэлектричество |
| Description: |
Исследован размерный эффект остаточной поляризации в тонких пленках оксида гафния, легированного цирконием и подвергнутых импульсному термическому отжигу. Измерена остаточная поляризация структур, содержащих слои Hf0.5Zn0.5O2 с толщиной от 10 до 54 нм. Показано, что с увеличением толщины удвоенная остаточная поляризация уменьшается в 2.5 раза с 16 до 6 мкКл/см2 |
| Document Type: |
Article |
| File Description: |
application/pdf |
| Language: |
Russian |
| Access URL: |
https://openrepository.ru/article?id=439040 |
| Accession Number: |
edsair.httpsopenrep..2cc54d638663a24f1e652244bbb11263 |
| Database: |
OpenAIRE |