Academic Journal

Размерные эффекты при импульсном отжиге тонких плёнок оксида гафния

Bibliographic Details
Title: Размерные эффекты при импульсном отжиге тонких плёнок оксида гафния
Publisher Information: Тверской государственный университет, 2018.
Publication Year: 2018
Subject Terms: 537.226.4 Сегнетоэлектричество
Description: Исследован размерный эффект остаточной поляризации в тонких пленках оксида гафния, легированного цирконием и подвергнутых импульсному термическому отжигу. Измерена остаточная поляризация структур, содержащих слои Hf0.5Zn0.5O2 с толщиной от 10 до 54 нм. Показано, что с увеличением толщины удвоенная остаточная поляризация уменьшается в 2.5 раза с 16 до 6 мкКл/см2
Document Type: Article
File Description: application/pdf
Language: Russian
Access URL: https://openrepository.ru/article?id=439040
Accession Number: edsair.httpsopenrep..2cc54d638663a24f1e652244bbb11263
Database: OpenAIRE
Description
Description not available.