Academic Journal
Προβολή σε EDS

Размерные эффекты при импульсном отжиге тонких плёнок оксида гафния

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Τίτλος: Размерные эффекты при импульсном отжиге тонких плёнок оксида гафния
Στοιχεία εκδότη: Тверской государственный университет, 2018.
Έτος έκδοσης: 2018
Θεματικοί όροι: 537.226.4 Сегнетоэлектричество
Περιγραφή: Исследован размерный эффект остаточной поляризации в тонких пленках оксида гафния, легированного цирконием и подвергнутых импульсному термическому отжигу. Измерена остаточная поляризация структур, содержащих слои Hf0.5Zn0.5O2 с толщиной от 10 до 54 нм. Показано, что с увеличением толщины удвоенная остаточная поляризация уменьшается в 2.5 раза с 16 до 6 мкКл/см2
Τύπος εγγράφου: Article
Περιγραφή αρχείου: application/pdf
Γλώσσα: Russian
Σύνδεσμος πρόσβασης: https://openrepository.ru/article?id=439040
Αριθμός Καταχώρησης: edsair.httpsopenrep..2cc54d638663a24f1e652244bbb11263
Βάση Δεδομένων: OpenAIRE
FullText Text:
  Availability: 0
Header DbId: edsair
DbLabel: OpenAIRE
An: edsair.httpsopenrep..2cc54d638663a24f1e652244bbb11263
RelevancyScore: 809
AccessLevel: 3
PubType: Academic Journal
PubTypeId: academicJournal
PreciseRelevancyScore: 809.340270996094
IllustrationInfo
Items – Name: Title
  Label: Title
  Group: Ti
  Data: Размерные эффекты при импульсном отжиге тонких плёнок оксида гафния
– Name: Publisher
  Label: Publisher Information
  Group: PubInfo
  Data: Тверской государственный университет, 2018.
– Name: DatePubCY
  Label: Publication Year
  Group: Date
  Data: 2018
– Name: Subject
  Label: Subject Terms
  Group: Su
  Data: <searchLink fieldCode="DE" term="%22537%2E226%2E4+Сегнетоэлектричество%22">537.226.4 Сегнетоэлектричество</searchLink>
– Name: Abstract
  Label: Description
  Group: Ab
  Data: Исследован размерный эффект остаточной поляризации в тонких пленках оксида гафния, легированного цирконием и подвергнутых импульсному термическому отжигу. Измерена остаточная поляризация структур, содержащих слои Hf0.5Zn0.5O2 с толщиной от 10 до 54 нм. Показано, что с увеличением толщины удвоенная остаточная поляризация уменьшается в 2.5 раза с 16 до 6 мкКл/см2
– Name: TypeDocument
  Label: Document Type
  Group: TypDoc
  Data: Article
– Name: Format
  Label: File Description
  Group: SrcInfo
  Data: application/pdf
– Name: Language
  Label: Language
  Group: Lang
  Data: Russian
– Name: URL
  Label: Access URL
  Group: URL
  Data: <link linkTarget="URL" linkTerm="https://openrepository.ru/article?id=439040" linkWindow="_blank">https://openrepository.ru/article?id=439040</link>
– Name: AN
  Label: Accession Number
  Group: ID
  Data: edsair.httpsopenrep..2cc54d638663a24f1e652244bbb11263
PLink https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsair&AN=edsair.httpsopenrep..2cc54d638663a24f1e652244bbb11263
RecordInfo BibRecord:
  BibEntity:
    Languages:
      – Text: Russian
    Subjects:
      – SubjectFull: 537.226.4 Сегнетоэлектричество
        Type: general
    Titles:
      – TitleFull: Размерные эффекты при импульсном отжиге тонких плёнок оксида гафния
        Type: main
  BibRelationships:
    IsPartOfRelationships:
      – BibEntity:
          Dates:
            – D: 01
              M: 01
              Type: published
              Y: 2018
          Identifiers:
            – Type: issn-locals
              Value: edsair
ResultId 1