Academic Journal

Vacuum chamber conditioning and saturation simulation tool (VacuumCOST): Enabling time-dependent simulations of pressure and NEG sticking in UHV chambers

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Τίτλος: Vacuum chamber conditioning and saturation simulation tool (VacuumCOST): Enabling time-dependent simulations of pressure and NEG sticking in UHV chambers
Συγγραφείς: Henriksen, P.L. ⁎, Ady, M., Kersevan, R.
Πηγή: In Vacuum June 2023 212
Βάση Δεδομένων: ScienceDirect
Περιγραφή
ISSN:0042207X
DOI:10.1016/j.vacuum.2023.111992