Academic Journal
Προβολή σε EDS

Исследование свойств пленки на основе Mо на подложке Si для создания тонкопленочного ИК-излучателя

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Τίτλος: Исследование свойств пленки на основе Mо на подложке Si для создания тонкопленочного ИК-излучателя
Στοιχεία εκδότη: БГУ, 2023.
Έτος έκδοσης: 2023
Θεματικοί όροι: IR emitter, thin films, composition, тонкие пленки, ИК-излучатель, композиционный состав, структура поверхности, surface structure
Περιγραφή: В работе представлены исследования композиционного состава, топографии поверхности и удельного сопротивления структур пленка на основе Мо/кремний изготовленных комбинацией различных методов (осаждение покрытий ассистированное собственными ионами (ОПАСИ) и магнетронного распыления) и режимов нанесения. In this paper a composite structure, surface topography and resistivity of Mo film/silicon structures prepared by combination of various methods (self-ion-assisted deposition (SIAD) of coating and magnetron sputtering) and dep-osition modes are discussed.
Τύπος εγγράφου: Article
Περιγραφή αρχείου: application/pdf
Γλώσσα: Russian
Σύνδεσμος πρόσβασης: https://rep.bsatu.by/handle/doc/20588
Αριθμός Καταχώρησης: edsair.od......4262..cce338aa92c2866b7b33ff4328c6e8eb
Βάση Δεδομένων: OpenAIRE
FullText Text:
  Availability: 0
CustomLinks:
  – Url: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______4262%3A%3Acce338aa92c2866b7b33ff4328c6e8eb
    Name: EDS - OpenAIRE (ns324271)
    Category: fullText
    Text: View record at OpenAIRE
Header DbId: edsair
DbLabel: OpenAIRE
An: edsair.od......4262..cce338aa92c2866b7b33ff4328c6e8eb
RelevancyScore: 884
AccessLevel: 3
PubType: Academic Journal
PubTypeId: academicJournal
PreciseRelevancyScore: 883.779541015625
IllustrationInfo
Items – Name: Title
  Label: Title
  Group: Ti
  Data: Исследование свойств пленки на основе Mо на подложке Si для создания тонкопленочного ИК-излучателя
– Name: Publisher
  Label: Publisher Information
  Group: PubInfo
  Data: БГУ, 2023.
– Name: DatePubCY
  Label: Publication Year
  Group: Date
  Data: 2023
– Name: Subject
  Label: Subject Terms
  Group: Su
  Data: <searchLink fieldCode="DE" term="%22IR+emitter%22">IR emitter</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22thin+films%22">thin films</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22composition%22">composition</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22тонкие+пленки%22">тонкие пленки</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22ИК-излучатель%22">ИК-излучатель</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22композиционный+состав%22">композиционный состав</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22структура+поверхности%22">структура поверхности</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22surface+structure%22">surface structure</searchLink>
– Name: Abstract
  Label: Description
  Group: Ab
  Data: В работе представлены исследования композиционного состава, топографии поверхности и удельного сопротивления структур пленка на основе Мо/кремний изготовленных комбинацией различных методов (осаждение покрытий ассистированное собственными ионами (ОПАСИ) и магнетронного распыления) и режимов нанесения. In this paper a composite structure, surface topography and resistivity of Mo film/silicon structures prepared by combination of various methods (self-ion-assisted deposition (SIAD) of coating and magnetron sputtering) and dep-osition modes are discussed.
– Name: TypeDocument
  Label: Document Type
  Group: TypDoc
  Data: Article
– Name: Format
  Label: File Description
  Group: SrcInfo
  Data: application/pdf
– Name: Language
  Label: Language
  Group: Lang
  Data: Russian
– Name: URL
  Label: Access URL
  Group: URL
  Data: <link linkTarget="URL" linkTerm="https://rep.bsatu.by/handle/doc/20588" linkWindow="_blank">https://rep.bsatu.by/handle/doc/20588</link>
– Name: AN
  Label: Accession Number
  Group: ID
  Data: edsair.od......4262..cce338aa92c2866b7b33ff4328c6e8eb
PLink https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsair&AN=edsair.od......4262..cce338aa92c2866b7b33ff4328c6e8eb
RecordInfo BibRecord:
  BibEntity:
    Languages:
      – Text: Russian
    Subjects:
      – SubjectFull: IR emitter
        Type: general
      – SubjectFull: thin films
        Type: general
      – SubjectFull: composition
        Type: general
      – SubjectFull: тонкие пленки
        Type: general
      – SubjectFull: ИК-излучатель
        Type: general
      – SubjectFull: композиционный состав
        Type: general
      – SubjectFull: структура поверхности
        Type: general
      – SubjectFull: surface structure
        Type: general
    Titles:
      – TitleFull: Исследование свойств пленки на основе Mо на подложке Si для создания тонкопленочного ИК-излучателя
        Type: main
  BibRelationships:
    IsPartOfRelationships:
      – BibEntity:
          Dates:
            – D: 01
              M: 01
              Type: published
              Y: 2023
          Identifiers:
            – Type: issn-locals
              Value: edsair
            – Type: issn-locals
              Value: edsairFT
ResultId 1