Bibliographic Details
| Title: |
Исследование свойств пленки на основе Mо на подложке Si для создания тонкопленочного ИК-излучателя |
| Publisher Information: |
БГУ, 2023. |
| Publication Year: |
2023 |
| Subject Terms: |
IR emitter, thin films, composition, тонкие пленки, ИК-излучатель, композиционный состав, структура поверхности, surface structure |
| Description: |
В работе представлены исследования композиционного состава, топографии поверхности и удельного сопротивления структур пленка на основе Мо/кремний изготовленных комбинацией различных методов (осаждение покрытий ассистированное собственными ионами (ОПАСИ) и магнетронного распыления) и режимов нанесения. In this paper a composite structure, surface topography and resistivity of Mo film/silicon structures prepared by combination of various methods (self-ion-assisted deposition (SIAD) of coating and magnetron sputtering) and dep-osition modes are discussed. |
| Document Type: |
Article |
| File Description: |
application/pdf |
| Language: |
Russian |
| Access URL: |
https://rep.bsatu.by/handle/doc/20588 |
| Accession Number: |
edsair.od......4262..cce338aa92c2866b7b33ff4328c6e8eb |
| Database: |
OpenAIRE |