(2022). Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта.
Chicago Style (17th ed.) CitationМодификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта. 2022.
MLA (9th ed.) CitationМодификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта. 2022.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.