Academic Journal

Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта

Bibliographic Details
Title: Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта
Publisher Information: 2022.
Publication Year: 2022
Subject Terms: thin films, тонкие пленки, сканирующая зондовая микроскопия, hydrophilic surface, self-ion assisted deposition, scanning probe microscopy, ассистированное собственными ионами осаждение, гидрофильная поверхность
Description: Изучены морфология и гидрофильность поверхности металлических (Ti и Сo) пленок на кремнии после облучения ионами Xe+ и на стекле осажденных в условиях ассистирования собственными ионами. The morphology and hydrophilicity of the surface of metallic (Ti and Co) films on silicon irradiated with xenon ions and on glass deposited with self-ion assisted were studied.
Document Type: Article
File Description: application/pdf
Language: Russian
Access URL: https://rep.bsatu.by/handle/doc/17818
Accession Number: edsair.od......4262..a87cb187706a0573f9d8b8e67e933dfc
Database: OpenAIRE
Description
Description not available.