Academic Journal
Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта
| Title: | Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта |
|---|---|
| Publisher Information: | 2022. |
| Publication Year: | 2022 |
| Subject Terms: | thin films, тонкие пленки, сканирующая зондовая микроскопия, hydrophilic surface, self-ion assisted deposition, scanning probe microscopy, ассистированное собственными ионами осаждение, гидрофильная поверхность |
| Description: | Изучены морфология и гидрофильность поверхности металлических (Ti и Сo) пленок на кремнии после облучения ионами Xe+ и на стекле осажденных в условиях ассистирования собственными ионами. The morphology and hydrophilicity of the surface of metallic (Ti and Co) films on silicon irradiated with xenon ions and on glass deposited with self-ion assisted were studied. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/17818 |
| Accession Number: | edsair.od......4262..a87cb187706a0573f9d8b8e67e933dfc |
| Database: | OpenAIRE |
| Description not available. |