Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
| Τίτλος: |
Диагностика поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок |
| Στοιχεία εκδότη: |
БГУ, 2006. |
| Έτος έκδοσης: |
2006 |
| Θεματικοί όροι: |
тонкие пленки, композиционный состав поверхности, ионно-ассистированное нанесение покрытий в условиях самооблучения, топография поверхности, повреждение структуры кремния, кремний |
| Περιγραφή: |
Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры, топографии поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС). |
| Τύπος εγγράφου: |
Article |
| Περιγραφή αρχείου: |
application/pdf |
| Γλώσσα: |
Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: |
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12529 |
| Αριθμός Καταχώρησης: |
edsair.od......4262..9a58ed3a4c61445bd68f4fcde19567cc |
| Βάση Δεδομένων: |
OpenAIRE |