Academic Journal
Προβολή σε EDS

Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Τίτλος: Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок
Στοιχεία εκδότη: 2009.
Έτος έκδοσης: 2009
Θεματικοί όροι: тонкие пленки, ионно-ассистированное нанесение покрытий, металлосодержащие покрытия, кремний
Τύπος εγγράφου: Article
Περιγραφή αρχείου: application/pdf
Γλώσσα: Russian
Σύνδεσμος πρόσβασης: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12102
Αριθμός Καταχώρησης: edsair.od......4262..6fc80938e04c6ac73d1e9e822a8e5f9b
Βάση Δεδομένων: OpenAIRE
FullText Text:
  Availability: 0
CustomLinks:
  – Url: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______4262%3A%3A6fc80938e04c6ac73d1e9e822a8e5f9b
    Name: EDS - OpenAIRE (ns324271)
    Category: fullText
    Text: View record at OpenAIRE
Header DbId: edsair
DbLabel: OpenAIRE
An: edsair.od......4262..6fc80938e04c6ac73d1e9e822a8e5f9b
RelevancyScore: 762
AccessLevel: 3
PubType: Academic Journal
PubTypeId: academicJournal
PreciseRelevancyScore: 761.963745117188
IllustrationInfo
Items – Name: Title
  Label: Title
  Group: Ti
  Data: Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок
– Name: Publisher
  Label: Publisher Information
  Group: PubInfo
  Data: 2009.
– Name: DatePubCY
  Label: Publication Year
  Group: Date
  Data: 2009
– Name: Subject
  Label: Subject Terms
  Group: Su
  Data: <searchLink fieldCode="DE" term="%22тонкие+пленки%22">тонкие пленки</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22ионно-ассистированное+нанесение+покрытий%22">ионно-ассистированное нанесение покрытий</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22металлосодержащие+покрытия%22">металлосодержащие покрытия</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22кремний%22">кремний</searchLink>
– Name: TypeDocument
  Label: Document Type
  Group: TypDoc
  Data: Article
– Name: Format
  Label: File Description
  Group: SrcInfo
  Data: application/pdf
– Name: Language
  Label: Language
  Group: Lang
  Data: Russian
– Name: URL
  Label: Access URL
  Group: URL
  Data: <link linkTarget="URL" linkTerm="https://rep.bsatu.by/handle/doc/12102" linkWindow="_blank">https://rep.bsatu.by/handle/doc/12102</link>
– Name: AN
  Label: Accession Number
  Group: ID
  Data: edsair.od......4262..6fc80938e04c6ac73d1e9e822a8e5f9b
PLink https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsair&AN=edsair.od......4262..6fc80938e04c6ac73d1e9e822a8e5f9b
RecordInfo BibRecord:
  BibEntity:
    Languages:
      – Text: Russian
    Subjects:
      – SubjectFull: тонкие пленки
        Type: general
      – SubjectFull: ионно-ассистированное нанесение покрытий
        Type: general
      – SubjectFull: металлосодержащие покрытия
        Type: general
      – SubjectFull: кремний
        Type: general
    Titles:
      – TitleFull: Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок
        Type: main
  BibRelationships:
    IsPartOfRelationships:
      – BibEntity:
          Dates:
            – D: 01
              M: 01
              Type: published
              Y: 2009
          Identifiers:
            – Type: issn-locals
              Value: edsair
            – Type: issn-locals
              Value: edsairFT
ResultId 1