Academic Journal
Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок
| Τίτλος: | Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок |
|---|---|
| Στοιχεία εκδότη: | 2009. |
| Έτος έκδοσης: | 2009 |
| Θεματικοί όροι: | тонкие пленки, ионно-ассистированное нанесение покрытий, металлосодержащие покрытия, кремний |
| Τύπος εγγράφου: | Article |
| Περιγραφή αρχείου: | application/pdf |
| Γλώσσα: | Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12102 |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.od......4262..6fc80938e04c6ac73d1e9e822a8e5f9b |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
| Η περιγραφή δεν είναι διαθέσιμη |