Academic Journal
Повреждение структуры и топографии поверхности при ионно-ассистированном осаждении покрытий
| Τίτλος: | Повреждение структуры и топографии поверхности при ионно-ассистированном осаждении покрытий |
|---|---|
| Στοιχεία εκδότη: | ГрГУ, 2006. |
| Έτος έκδοσης: | 2006 |
| Θεματικοί όροι: | нанесение покрытий, самооблучение, модифицирование поверхностей, ионно-ассистированные осаждения, топография поверхности, свойства поверхности покрытий, кремний |
| Περιγραφή: | В работе обсуждаются результаты экспериментального исследования систем покрытий подложка в которых основой сокрытия являются II C изготовленных методом ионно-ассистированном осаждении покрытий на кремний в условиях самообучения. |
| Τύπος εγγράφου: | Article |
| Περιγραφή αρχείου: | application/pdf |
| Γλώσσα: | Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12897 |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.od......4262..25feb40ee9792bf2a440236fd3e93c54 |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
| Η περιγραφή δεν είναι διαθέσιμη |