Academic Journal
Неорганические стекловидные диэлектрики для защиты элементов микросхем
| Title: | Неорганические стекловидные диэлектрики для защиты элементов микросхем |
|---|---|
| Publisher Information: | 2019. |
| Publication Year: | 2019 |
| Subject Terms: | стекловидные диэлектрики, гибридные интегральные схемы, неорганические стекловидные диэлектрики, толстопленочные технологии, стекла, защита элементов микросхем, диэлектрические покрытия |
| Description: | В настоящей работе проводились исследования стекол на основе системы СаО—ВаО—Аl[2]0[3] —В20[3] —Si0[2] с целью получения диэлектрических покрытий по металлу для защиты элементов микросхем. Было установлено, что синтезированные стекла могут служить основой для получения толстопленочных диэлектрических покрытий металлов. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Access URL: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/28982 |
| Accession Number: | edsair.od......3992..fd7cd7be0619c54cd99eb9d35574f45e |
| Database: | OpenAIRE |
| Description not available. |