Academic Journal
Изучение элементного состава приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением хрома на образцы из Si и Al
| Title: | Изучение элементного состава приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением хрома на образцы из Si и Al |
|---|---|
| Publisher Information: | БГТУ, 2023. |
| Publication Year: | 2023 |
| Subject Terms: | осаждение покрытий, распределение элементов в Cr/Si-структурах, метод резерфордовского обратного рассеяния, метод резонансных ядерных реакций, покрытия на основе хрома, метод ионно-ассистируемого осаждения в вакууме, распределение элементов в Сr/Al-структурах |
| Description: | В работе представлены экспериментальные результаты по изучению распределения элементов в Cr/Si- и Сr/Al-структурах, сформированных методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Распределение элементов по глубине в сформированных покрытиях изучались методами резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и резонансных ядерных реакций. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/61599 |
| Accession Number: | edsair.od......3992..f7697d99c882ebf501f3737f14ea8dcb |
| Database: | OpenAIRE |
| Description not available. |