Academic Journal

Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Τίτλος: Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr
Στοιχεία εκδότη: БГТУ, 2021.
Έτος έκδοσης: 2021
Θεματικοί όροι: условия ионного ассистирования, ионно-ассистированное осаждение, пластины монокристаллического кремния, кремниевые пластины, металлические покрытия, резерфордовское обратное рассеяние
Περιγραφή: В данной работе с использованием методов РОР, растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии установлены состав и структура металлических (Mo, Cr) покрытий, осажденных на (111) Si в условиях ассистирования собственными ионами.
Τύπος εγγράφου: Article
Περιγραφή αρχείου: application/pdf
Γλώσσα: Russian
Σύνδεσμος πρόσβασης: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602
Αριθμός Καταχώρησης: edsair.od......3992..ede8c446c06f8cd11cc2e9433beadbf0
Βάση Δεδομένων: OpenAIRE
Περιγραφή
Η περιγραφή δεν είναι διαθέσιμη