Bibliographic Details
| Title: |
Исследование газочувствительных слоев In2O3-SnO2 для полупроводниковых сенсоров |
| Publisher Information: |
2022. |
| Publication Year: |
2022 |
| Subject Terms: |
золь-гель метод, оксид индия, газочувствительный слой, анодный оксид алюминия, оксид олова, полупроводниковые сенсоры |
| Description: |
В работе представлены результаты исследований морфологии тонких пленок на основе In2O3-SnO2, сформированных золь-гель методом на подложках из анодного оксида алюминия с использованием двух различных методик нанесения и термической обработки. |
| Document Type: |
Article |
| File Description: |
application/pdf |
| Language: |
Russian |
| Access URL: |
https://elib.belstu.by/handle/123456789/49564 |
| Accession Number: |
edsair.od......3992..e539fd1310d46f9c8ef4e404a61a7cf1 |
| Database: |
OpenAIRE |