Academic Journal
Влияние ионно-ассистируемого осаждения металлсодержащих покрытий на содержание водорода в Cr/Si, Ti/Si и Zr/Si-структурах
| Τίτλος: | Влияние ионно-ассистируемого осаждения металлсодержащих покрытий на содержание водорода в Cr/Si, Ti/Si и Zr/Si-структурах |
|---|---|
| Στοιχεία εκδότη: | БГТУ, 2020. |
| Έτος έκδοσης: | 2020 |
| Θεματικοί όροι: | хром, ионно-ассистируемые осаждения, цирконий, метод резонансных ядерных реакций, металлсодержащие покрытия, титан, водород, поверхностные структуры, кремний |
| Περιγραφή: | В данной работе обсуждаются экспериментальные результаты по изучению распределения водорода в приповерхностных слоях Cr/Si-, Ti/Si- и Zr/Si-структур, сформированных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме. Этот метод заключается в осаждении покрытия на подложку при одновременном облучении формируемой структуры ускоренными ионами материала покрытия. Установлено, что при ионно-ассистируемом нанесении металлсодержащих (Cr, Ti и Zr) покрытий на кремний формируются поверхностные структуры толщиной ∼100−400 нм в зависимости от времени осаждения. |
| Τύπος εγγράφου: | Article |
| Περιγραφή αρχείου: | application/pdf |
| Γλώσσα: | Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/36289 |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.od......3992..e4d355974cbfeb35f5defb4bae3076ea |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
καταχωρήστε σχόλιο πρώτοι!