Bibliographic Details
| Title: |
Влияние ионно-ассистируемого осаждения металлсодержащих покрытий на содержание водорода в Cr/Si, Ti/Si и Zr/Si-структурах |
| Publisher Information: |
БГТУ, 2020. |
| Publication Year: |
2020 |
| Subject Terms: |
хром, ионно-ассистируемые осаждения, цирконий, метод резонансных ядерных реакций, металлсодержащие покрытия, титан, водород, поверхностные структуры, кремний |
| Description: |
В данной работе обсуждаются экспериментальные результаты по изучению распределения водорода в приповерхностных слоях Cr/Si-, Ti/Si- и Zr/Si-структур, сформированных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме. Этот метод заключается в осаждении покрытия на подложку при одновременном облучении формируемой структуры ускоренными ионами материала покрытия. Установлено, что при ионно-ассистируемом нанесении металлсодержащих (Cr, Ti и Zr) покрытий на кремний формируются поверхностные структуры толщиной ∼100−400 нм в зависимости от времени осаждения. |
| Document Type: |
Article |
| File Description: |
application/pdf |
| Language: |
Russian |
| Access URL: |
https://elib.belstu.by/handle/123456789/36289 |
| Accession Number: |
edsair.od......3992..e4d355974cbfeb35f5defb4bae3076ea |
| Database: |
OpenAIRE |