Academic Journal

Низкоразмерные нанокомпозитные структуры в приборах электроники

Bibliographic Details
Title: Низкоразмерные нанокомпозитные структуры в приборах электроники
Publisher Information: БГТУ, 2019.
Publication Year: 2019
Subject Terms: формирование нанотрубок, оксидные нанотрубки, нанотрубки, радикало-лучевая геттерирующая эпитаксия, пористые подложки, полупроводниковые гетероструктуры, выращивание оксидных нанотрубок
Description: В данной работе рассмотрен процесс формирования нанотрубок ZnO, In[2]O[3] и квантовых точек GaN на пористых подложках ZnSe, InP и GaAs соответственно. Для изготовления оксидных нанотрубок использован метод радикало-лучевой геттерирующей эпитаксии, который заключается в отжиге пористых полупроводниковых подложек в потоке атомарного кислорода либо атомарного азота.
Document Type: Article
File Description: application/pdf
Language: Russian
Access URL: https://elib.belstu.by/handle/123456789/28608
Accession Number: edsair.od......3992..dab39f2f87db341fde3471c72ccb5538
Database: OpenAIRE
Description
Description not available.