Bibliographic Details
| Title: |
Низкоразмерные нанокомпозитные структуры в приборах электроники |
| Publisher Information: |
БГТУ, 2019. |
| Publication Year: |
2019 |
| Subject Terms: |
формирование нанотрубок, оксидные нанотрубки, нанотрубки, радикало-лучевая геттерирующая эпитаксия, пористые подложки, полупроводниковые гетероструктуры, выращивание оксидных нанотрубок |
| Description: |
В данной работе рассмотрен процесс формирования нанотрубок ZnO, In[2]O[3] и квантовых точек GaN на пористых подложках ZnSe, InP и GaAs соответственно. Для изготовления оксидных нанотрубок использован метод радикало-лучевой геттерирующей эпитаксии, который заключается в отжиге пористых полупроводниковых подложек в потоке атомарного кислорода либо атомарного азота. |
| Document Type: |
Article |
| File Description: |
application/pdf |
| Language: |
Russian |
| Access URL: |
https://elib.belstu.by/handle/123456789/28608 |
| Accession Number: |
edsair.od......3992..dab39f2f87db341fde3471c72ccb5538 |
| Database: |
OpenAIRE |