Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
| Τίτλος: |
Низкоразмерные нанокомпозитные структуры в приборах электроники |
| Στοιχεία εκδότη: |
БГТУ, 2019. |
| Έτος έκδοσης: |
2019 |
| Θεματικοί όροι: |
формирование нанотрубок, оксидные нанотрубки, нанотрубки, радикало-лучевая геттерирующая эпитаксия, пористые подложки, полупроводниковые гетероструктуры, выращивание оксидных нанотрубок |
| Περιγραφή: |
В данной работе рассмотрен процесс формирования нанотрубок ZnO, In[2]O[3] и квантовых точек GaN на пористых подложках ZnSe, InP и GaAs соответственно. Для изготовления оксидных нанотрубок использован метод радикало-лучевой геттерирующей эпитаксии, который заключается в отжиге пористых полупроводниковых подложек в потоке атомарного кислорода либо атомарного азота. |
| Τύπος εγγράφου: |
Article |
| Περιγραφή αρχείου: |
application/pdf |
| Γλώσσα: |
Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: |
https://elib.belstu.by/handle/123456789/28608 |
| Αριθμός Καταχώρησης: |
edsair.od......3992..dab39f2f87db341fde3471c72ccb5538 |
| Βάση Δεδομένων: |
OpenAIRE |