Academic Journal
Низкоразмерные нанокомпозитные структуры в приборах электроники
| Τίτλος: | Низкоразмерные нанокомпозитные структуры в приборах электроники |
|---|---|
| Στοιχεία εκδότη: | БГТУ, 2019. |
| Έτος έκδοσης: | 2019 |
| Θεματικοί όροι: | формирование нанотрубок, оксидные нанотрубки, нанотрубки, радикало-лучевая геттерирующая эпитаксия, пористые подложки, полупроводниковые гетероструктуры, выращивание оксидных нанотрубок |
| Περιγραφή: | В данной работе рассмотрен процесс формирования нанотрубок ZnO, In[2]O[3] и квантовых точек GaN на пористых подложках ZnSe, InP и GaAs соответственно. Для изготовления оксидных нанотрубок использован метод радикало-лучевой геттерирующей эпитаксии, который заключается в отжиге пористых полупроводниковых подложек в потоке атомарного кислорода либо атомарного азота. |
| Τύπος εγγράφου: | Article |
| Περιγραφή αρχείου: | application/pdf |
| Γλώσσα: | Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/28608 |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.od......3992..dab39f2f87db341fde3471c72ccb5538 |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
καταχωρήστε σχόλιο πρώτοι!