Academic Journal
Особенности получения пленок оксидов Мо методом «напыление – окисление» или химическим наслаиванием
| Τίτλος: | Особенности получения пленок оксидов Мо методом «напыление – окисление» или химическим наслаиванием |
|---|---|
| Στοιχεία εκδότη: | БГТУ, 2023. |
| Έτος έκδοσης: | 2023 |
| Θεματικοί όροι: | ионно-плазменное напыление, оксиды молибдена, молибден, оксидные пленки, пленки оксидов молибдена, метод 'напыление - окисление', химическое наслаивание |
| Περιγραφή: | Рассмотрены результаты исследований, которые свидетельствуют о том, что для получения пленок оксида молибдена со стехиометрией, близкой к МоО[3] и прозрачностью в видимом диапазоне около 50 % может быть использован либо метод НО при толщине напыляемого металла 100 нм и температуре его окисления 450°С, либо доступный метод ХН с перекисной обработкой при количестве циклов наслаивания 10 и температуре отжига 200°С. |
| Τύπος εγγράφου: | Article |
| Περιγραφή αρχείου: | application/pdf |
| Γλώσσα: | Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/56187 |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.od......3992..bec379a0c1a191148c938fbd8b704d0f |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
καταχωρήστε σχόλιο πρώτοι!