Bibliographic Details
| Title: |
Особенности получения пленок оксидов Мо методом «напыление – окисление» или химическим наслаиванием |
| Publisher Information: |
БГТУ, 2023. |
| Publication Year: |
2023 |
| Subject Terms: |
ионно-плазменное напыление, оксиды молибдена, молибден, оксидные пленки, пленки оксидов молибдена, метод 'напыление - окисление', химическое наслаивание |
| Description: |
Рассмотрены результаты исследований, которые свидетельствуют о том, что для получения пленок оксида молибдена со стехиометрией, близкой к МоО[3] и прозрачностью в видимом диапазоне около 50 % может быть использован либо метод НО при толщине напыляемого металла 100 нм и температуре его окисления 450°С, либо доступный метод ХН с перекисной обработкой при количестве циклов наслаивания 10 и температуре отжига 200°С. |
| Document Type: |
Article |
| File Description: |
application/pdf |
| Language: |
Russian |
| Access URL: |
https://elib.belstu.by/handle/123456789/56187 |
| Accession Number: |
edsair.od......3992..bec379a0c1a191148c938fbd8b704d0f |
| Database: |
OpenAIRE |