Academic Journal
Получение тонких полупроводниковых пленок оксосульфида олова(II) методом SILD
| Title: | Получение тонких полупроводниковых пленок оксосульфида олова(II) методом SILD |
|---|---|
| Publisher Information: | 2020. |
| Publication Year: | 2020 |
| Subject Terms: | элементный состав, оксосульфид олова, электросопротивление, пленочные структуры, полупроводниковые пленки, пленки полупроводниковые, скорость осаждения, SILD |
| Description: | Цель исследования – формирование нано- и микроструктурных слоев полупроводниковых сульфидов или оксосульфидов олова(II) методом SILD на планарных прозрачных подложках, а также изучение влияния количества циклов обработки на микроструктуру, состав и электрические свойства пленок. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/32353 |
| Accession Number: | edsair.od......3992..ae71df04c4a09b908d7103487ef98a1c |
| Database: | OpenAIRE |
Be the first to leave a comment!