Academic Journal
Получение тонких полупроводниковых пленок оксосульфида олова(II) методом SILD
| Τίτλος: | Получение тонких полупроводниковых пленок оксосульфида олова(II) методом SILD |
|---|---|
| Στοιχεία εκδότη: | 2020. |
| Έτος έκδοσης: | 2020 |
| Θεματικοί όροι: | элементный состав, оксосульфид олова, электросопротивление, пленочные структуры, полупроводниковые пленки, пленки полупроводниковые, скорость осаждения, SILD |
| Περιγραφή: | Цель исследования – формирование нано- и микроструктурных слоев полупроводниковых сульфидов или оксосульфидов олова(II) методом SILD на планарных прозрачных подложках, а также изучение влияния количества циклов обработки на микроструктуру, состав и электрические свойства пленок. |
| Τύπος εγγράφου: | Article |
| Περιγραφή αρχείου: | application/pdf |
| Γλώσσα: | Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/32353 |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.od......3992..ae71df04c4a09b908d7103487ef98a1c |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
| Η περιγραφή δεν είναι διαθέσιμη |