Academic Journal
Композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме
| Title: | Композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме |
|---|---|
| Publisher Information: | БГТУ, 2023. |
| Publication Year: | 2023 |
| Subject Terms: | метод ядерных реакций, осаждение в вакууме, ионно-ассистируемое осаждение, резерфордовское обратное рассеяние, кремний |
| Description: | На образцы из кремния наносились покрытия на основе Co методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Рассмотрен композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/59364 |
| Accession Number: | edsair.od......3992..567f3b80235f1adb43283543f1a88b5b |
| Database: | OpenAIRE |
Be the first to leave a comment!