Bibliographic Details
| Title: |
Композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме |
| Publisher Information: |
БГТУ, 2023. |
| Publication Year: |
2023 |
| Subject Terms: |
метод ядерных реакций, осаждение в вакууме, ионно-ассистируемое осаждение, резерфордовское обратное рассеяние, кремний |
| Description: |
На образцы из кремния наносились покрытия на основе Co методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Рассмотрен композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме. |
| Document Type: |
Article |
| File Description: |
application/pdf |
| Language: |
Russian |
| Access URL: |
https://elib.belstu.by/handle/123456789/59364 |
| Accession Number: |
edsair.od......3992..567f3b80235f1adb43283543f1a88b5b |
| Database: |
OpenAIRE |