Academic Journal
Προβολή σε EDS

Композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Τίτλος: Композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме
Στοιχεία εκδότη: БГТУ, 2023.
Έτος έκδοσης: 2023
Θεματικοί όροι: метод ядерных реакций, осаждение в вакууме, ионно-ассистируемое осаждение, резерфордовское обратное рассеяние, кремний
Περιγραφή: На образцы из кремния наносились покрытия на основе Co методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Рассмотрен композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме.
Τύπος εγγράφου: Article
Περιγραφή αρχείου: application/pdf
Γλώσσα: Russian
Σύνδεσμος πρόσβασης: https://elib.belstu.by/handle/123456789/59364
Αριθμός Καταχώρησης: edsair.od......3992..567f3b80235f1adb43283543f1a88b5b
Βάση Δεδομένων: OpenAIRE
FullText Text:
  Availability: 0
Header DbId: edsair
DbLabel: OpenAIRE
An: edsair.od......3992..567f3b80235f1adb43283543f1a88b5b
RelevancyScore: 906
AccessLevel: 3
PubType: Academic Journal
PubTypeId: academicJournal
PreciseRelevancyScore: 905.532897949219
IllustrationInfo
Items – Name: Title
  Label: Title
  Group: Ti
  Data: Композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме
– Name: Publisher
  Label: Publisher Information
  Group: PubInfo
  Data: БГТУ, 2023.
– Name: DatePubCY
  Label: Publication Year
  Group: Date
  Data: 2023
– Name: Subject
  Label: Subject Terms
  Group: Su
  Data: <searchLink fieldCode="DE" term="%22метод+ядерных+реакций%22">метод ядерных реакций</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22осаждение+в+вакууме%22">осаждение в вакууме</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22ионно-ассистируемое+осаждение%22">ионно-ассистируемое осаждение</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22резерфордовское+обратное+рассеяние%22">резерфордовское обратное рассеяние</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22кремний%22">кремний</searchLink>
– Name: Abstract
  Label: Description
  Group: Ab
  Data: На образцы из кремния наносились покрытия на основе Co методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Рассмотрен композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме.
– Name: TypeDocument
  Label: Document Type
  Group: TypDoc
  Data: Article
– Name: Format
  Label: File Description
  Group: SrcInfo
  Data: application/pdf
– Name: Language
  Label: Language
  Group: Lang
  Data: Russian
– Name: URL
  Label: Access URL
  Group: URL
  Data: <link linkTarget="URL" linkTerm="https://elib.belstu.by/handle/123456789/59364" linkWindow="_blank">https://elib.belstu.by/handle/123456789/59364</link>
– Name: AN
  Label: Accession Number
  Group: ID
  Data: edsair.od......3992..567f3b80235f1adb43283543f1a88b5b
PLink https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsair&AN=edsair.od......3992..567f3b80235f1adb43283543f1a88b5b
RecordInfo BibRecord:
  BibEntity:
    Languages:
      – Text: Russian
    Subjects:
      – SubjectFull: метод ядерных реакций
        Type: general
      – SubjectFull: осаждение в вакууме
        Type: general
      – SubjectFull: ионно-ассистируемое осаждение
        Type: general
      – SubjectFull: резерфордовское обратное рассеяние
        Type: general
      – SubjectFull: кремний
        Type: general
    Titles:
      – TitleFull: Композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме
        Type: main
  BibRelationships:
    IsPartOfRelationships:
      – BibEntity:
          Dates:
            – D: 02
              M: 10
              Type: published
              Y: 2023
          Identifiers:
            – Type: issn-locals
              Value: edsair
ResultId 1