Academic Journal
Электрохимическое осаждение легированных марганцем кремний-углеродных пленок для импедансометрических датчиков
| Τίτλος: | Электрохимическое осаждение легированных марганцем кремний-углеродных пленок для импедансометрических датчиков |
|---|---|
| Στοιχεία εκδότη: | БГТУ, 2022. |
| Έτος έκδοσης: | 2022 |
| Θεματικοί όροι: | импедансометрические датчики, электрохимический импеданс датчиков, кремний-углеродные пленки, электрохимическое осаждение, нанокристаллические пленки, легирование пленок |
| Περιγραφή: | В статье рассмотрено электрохимическое осаждение легированных марганцем кремний-углеродных пленок для импедансометрических датчиков. |
| Τύπος εγγράφου: | Article |
| Περιγραφή αρχείου: | application/pdf |
| Γλώσσα: | Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/49869 |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.od......3992..3580306c194c8b27a45f8d9b30c7ccae |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
| Η περιγραφή δεν είναι διαθέσιμη |