Academic Journal
Состав приповерхностных слоев структур Ti/Si и Cо/Si, полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме
| Title: | Состав приповерхностных слоев структур Ti/Si и Cо/Si, полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме |
|---|---|
| Publisher Information: | БГТУ, 2022. |
| Publication Year: | 2022 |
| Subject Terms: | метод ядерных реакций, ионы гелия, ксеноновый маркер, осаждение покрытий, ионно-ассистируемое осаждение, резерфордовское обратное рассеяние |
| Description: | В работе рассмотрен состав приповерхностных слоев структур Ti/Si и Cо/Si, полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/47988 |
| Accession Number: | edsair.od......3992..1c5a1d3a9a81258f13cb868e0455de91 |
| Database: | OpenAIRE |
Be the first to leave a comment!