Conference
Сильноточное магнетронное распыление Al мишени
| Title: | Сильноточное магнетронное распыление Al мишени |
|---|---|
| Publisher Information: | 2018. |
| Publication Year: | 2018 |
| Subject Terms: | ионно-плазменные установки, плазма, осаждение, теплопроводность, сильноточное распыление, алюминий, магнетронное распыление, тонкопленочные покрытия, мишени |
| Document Type: | Conference object |
| Language: | Russian |
| Access URL: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51925 |
| Accession Number: | edsair.od......3626..a7700b20f71c802cd8a6f60519b98b64 |
| Database: | OpenAIRE |
| Description not available. |