Academic Journal

Особенности РОР-спектроскопии тонких пленок перовскитов

Bibliographic Details
Title: Особенности РОР-спектроскопии тонких пленок перовскитов
Source: Вестник науки Сибири.
Publisher Information: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Томский политехнический университет», 2012.
Publication Year: 2012
Subject Terms: ИОНОПУЧКОВАЯ ДИАГНОСТИКА, РЕЗЕРФОРДОВСКОЕ ОБРАТНОЕ РАССЕЯНИЕ, СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПЛЕНКА, ПЕРОВСКИТ, ОКСИД МАГНИЯ, БАРИЙ-СТРОНЦИЙ-ТИТАН
Description: Проведены исследования тонких перовскитных пленок барий-стронциевого титаната (Ba1-xSrxTiO3) на монокристаллических подложках типа Si [100], MgO [100] и NdGaO3 [100] методом резерфордовского обратного рассеяния (РОР) ионов гелия и рентгенофлуоресцентного анализа при полном внешнем отражении потока возбуждения. Рассмотрены особенности метода РОР-спектроскопии и его ожидаемое следствие при анализе тонких перовскитных пленок Ba1-xSrxTiO3 на различных типах монокристаллических подложек. Определена степень их элементной неоднородности по толщине и степень диффузионного загрязнения атомами подложек.
Document Type: Article
File Description: text/html
Language: Russian
ISSN: 2226-0064
Access URL: http://cyberleninka.ru/article_covers/14407847.png
http://cyberleninka.ru/article/n/osobennosti-ror-spektroskopii-tonkih-plenok-perovskitov
Accession Number: edsair.od......2806..f4df7d22fcd1a7236f75fffdbff3d70d
Database: OpenAIRE
Description
ISSN:22260064