Academic Journal
Технологические возможности формирования тонкопленочных гетероструктур на основе алмазоподобных и сегнетоэлектрических материалов
| Title: | Технологические возможности формирования тонкопленочных гетероструктур на основе алмазоподобных и сегнетоэлектрических материалов |
|---|---|
| Source: | Вестник науки Сибири. |
| Publisher Information: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Томский политехнический университет», 2012. |
| Publication Year: | 2012 |
| Subject Terms: | ГЕТЕРОСТРУКТУРА, СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПЛЕНКА, АЛМАЗОПОБНАЯ ПЛЕНКА, ВЧ-РАСПЫЛЕНИЕ |
| Description: | Исследованы возможности формирования гетероструктур на основе алмазоподобных и сегнетоэлектрических материалов. Определены оптимальные технологические условия формирования структур. Проведен анализ кристаллической структуры и фазового состава алмазоподобных и сегнетоэлектри-ческих пленок. Показано, что формирование двухслойной гетероструктуры с алмазоподобным слоем при температуре подложки выше 700 ºС перовскитный слой не обладает сегнетоэлектрическими свойствами. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | text/html |
| Language: | Russian |
| ISSN: | 2226-0064 |
| Access URL: | http://cyberleninka.ru/article_covers/14411370.png http://cyberleninka.ru/article/n/tehnologicheskie-vozmozhnosti-formirovaniya-tonkoplenochnyh-geterostruktur-na-osnove-almazopodobnyh-i-segnetoelektricheskih |
| Accession Number: | edsair.od......2806..7eb9ddd74eabe173f1176d95b1a90b12 |
| Database: | OpenAIRE |
| ISSN: | 22260064 |
|---|