Academic Journal
View in EDS

Технология изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов с функциональным микрорельефом поверхности методом плазмохимического травления

Bibliographic Details
Title: Технология изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов с функциональным микрорельефом поверхности методом плазмохимического травления
Source: Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана. Серия «Приборостроение».
Publisher Information: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский государственный технический университет имени Н.Э.Баумана», 2010.
Publication Year: 2010
Subject Terms: 0209 industrial biotechnology, КОМПЬЮТЕРНАЯ ГОЛОГРАФИЯ, ДИФРАКЦИОННЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ, ПЛАЗМОХИМИЯ, ОПТИЧЕСКОЕ СТЕКЛО, 0202 electrical engineering, electronic engineering, information engineering, 02 engineering and technology
Description: Экспериментально решена проблема создания на поверхности деталей из оптического стекла, являющегося диэлектрическим материалом, бинарного функционального микрорельефа методом плазмохимического травления на серийной установке Caroline 15 PE. Получены зависимости скорости и селективности травления стекла от основных факторов процесса. Установлен режим, обеспечивающий полирующее травление оптического стекла. Обоснован и представлен технологический процесс изготовления соответствующих оптических деталей.
Document Type: Article
File Description: text/html
Language: Russian
ISSN: 0236-3933
Access URL: http://cyberleninka.ru/article/n/tehnologiya-izgotovleniya-difraktsionnyh-i-gologrammnyh-opticheskih-elementov-s-funktsionalnym-mikroreliefom-poverhnosti-metodom
http://cyberleninka.ru/article_covers/14206645.png
Accession Number: edsair.od......2806..7e9b597a7b3b24595867f3669dd3316c
Database: OpenAIRE
FullText Text:
  Availability: 0
CustomLinks:
  – Url: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______2806%3A%3A7e9b597a7b3b24595867f3669dd3316c
    Name: EDS - OpenAIRE (ns324271)
    Category: fullText
    Text: View record at OpenAIRE
Header DbId: edsair
DbLabel: OpenAIRE
An: edsair.od......2806..7e9b597a7b3b24595867f3669dd3316c
RelevancyScore: 763
AccessLevel: 3
PubType: Academic Journal
PubTypeId: academicJournal
PreciseRelevancyScore: 763.072082519531
IllustrationInfo
Items – Name: Title
  Label: Title
  Group: Ti
  Data: Технология изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов с функциональным микрорельефом поверхности методом плазмохимического травления
– Name: TitleSource
  Label: Source
  Group: Src
  Data: <i>Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана. Серия «Приборостроение»</i>.
– Name: Publisher
  Label: Publisher Information
  Group: PubInfo
  Data: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский государственный технический университет имени Н.Э.Баумана», 2010.
– Name: DatePubCY
  Label: Publication Year
  Group: Date
  Data: 2010
– Name: Subject
  Label: Subject Terms
  Group: Su
  Data: <searchLink fieldCode="DE" term="%220209+industrial+biotechnology%22">0209 industrial biotechnology</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22КОМПЬЮТЕРНАЯ+ГОЛОГРАФИЯ%2C+ДИФРАКЦИОННЫЕ+ОПТИЧЕСКИЕ+ЭЛЕМЕНТЫ%2C+ПЛАЗМОХИМИЯ%2C+ОПТИЧЕСКОЕ+СТЕКЛО%22">КОМПЬЮТЕРНАЯ ГОЛОГРАФИЯ, ДИФРАКЦИОННЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ, ПЛАЗМОХИМИЯ, ОПТИЧЕСКОЕ СТЕКЛО</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%220202+electrical+engineering%2C+electronic+engineering%2C+information+engineering%22">0202 electrical engineering, electronic engineering, information engineering</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%2202+engineering+and+technology%22">02 engineering and technology</searchLink>
– Name: Abstract
  Label: Description
  Group: Ab
  Data: Экспериментально решена проблема создания на поверхности деталей из оптического стекла, являющегося диэлектрическим материалом, бинарного функционального микрорельефа методом плазмохимического травления на серийной установке Caroline 15 PE. Получены зависимости скорости и селективности травления стекла от основных факторов процесса. Установлен режим, обеспечивающий полирующее травление оптического стекла. Обоснован и представлен технологический процесс изготовления соответствующих оптических деталей.
– Name: TypeDocument
  Label: Document Type
  Group: TypDoc
  Data: Article
– Name: Format
  Label: File Description
  Group: SrcInfo
  Data: text/html
– Name: Language
  Label: Language
  Group: Lang
  Data: Russian
– Name: ISSN
  Label: ISSN
  Group: ISSN
  Data: 0236-3933
– Name: URL
  Label: Access URL
  Group: URL
  Data: <link linkTarget="URL" linkTerm="http://cyberleninka.ru/article/n/tehnologiya-izgotovleniya-difraktsionnyh-i-gologrammnyh-opticheskih-elementov-s-funktsionalnym-mikroreliefom-poverhnosti-metodom" linkWindow="_blank">http://cyberleninka.ru/article/n/tehnologiya-izgotovleniya-difraktsionnyh-i-gologrammnyh-opticheskih-elementov-s-funktsionalnym-mikroreliefom-poverhnosti-metodom</link><br /><link linkTarget="URL" linkTerm="http://cyberleninka.ru/article_covers/14206645.png" linkWindow="_blank">http://cyberleninka.ru/article_covers/14206645.png</link>
– Name: AN
  Label: Accession Number
  Group: ID
  Data: edsair.od......2806..7e9b597a7b3b24595867f3669dd3316c
PLink https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsair&AN=edsair.od......2806..7e9b597a7b3b24595867f3669dd3316c
RecordInfo BibRecord:
  BibEntity:
    Languages:
      – Text: Russian
    Subjects:
      – SubjectFull: 0209 industrial biotechnology
        Type: general
      – SubjectFull: КОМПЬЮТЕРНАЯ ГОЛОГРАФИЯ, ДИФРАКЦИОННЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ, ПЛАЗМОХИМИЯ, ОПТИЧЕСКОЕ СТЕКЛО
        Type: general
      – SubjectFull: 0202 electrical engineering, electronic engineering, information engineering
        Type: general
      – SubjectFull: 02 engineering and technology
        Type: general
    Titles:
      – TitleFull: Технология изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов с функциональным микрорельефом поверхности методом плазмохимического травления
        Type: main
  BibRelationships:
    IsPartOfRelationships:
      – BibEntity:
          Dates:
            – D: 01
              M: 01
              Type: published
              Y: 2010
          Identifiers:
            – Type: issn-print
              Value: 02363933
            – Type: issn-locals
              Value: edsair
            – Type: issn-locals
              Value: edsairFT
          Titles:
            – TitleFull: Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана. Серия «Приборостроение»
              Type: main
ResultId 1