Academic Journal
Технология изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов с функциональным микрорельефом поверхности методом плазмохимического травления
| Τίτλος: | Технология изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов с функциональным микрорельефом поверхности методом плазмохимического травления |
|---|---|
| Πηγή: | Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана. Серия «Приборостроение». |
| Στοιχεία εκδότη: | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский государственный технический университет имени Н.Э.Баумана», 2010. |
| Έτος έκδοσης: | 2010 |
| Θεματικοί όροι: | 0209 industrial biotechnology, КОМПЬЮТЕРНАЯ ГОЛОГРАФИЯ, ДИФРАКЦИОННЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ, ПЛАЗМОХИМИЯ, ОПТИЧЕСКОЕ СТЕКЛО, 0202 electrical engineering, electronic engineering, information engineering, 02 engineering and technology |
| Περιγραφή: | Экспериментально решена проблема создания на поверхности деталей из оптического стекла, являющегося диэлектрическим материалом, бинарного функционального микрорельефа методом плазмохимического травления на серийной установке Caroline 15 PE. Получены зависимости скорости и селективности травления стекла от основных факторов процесса. Установлен режим, обеспечивающий полирующее травление оптического стекла. Обоснован и представлен технологический процесс изготовления соответствующих оптических деталей. |
| Τύπος εγγράφου: | Article |
| Περιγραφή αρχείου: | text/html |
| Γλώσσα: | Russian |
| ISSN: | 0236-3933 |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: | http://cyberleninka.ru/article/n/tehnologiya-izgotovleniya-difraktsionnyh-i-gologrammnyh-opticheskih-elementov-s-funktsionalnym-mikroreliefom-poverhnosti-metodom http://cyberleninka.ru/article_covers/14206645.png |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.od......2806..7e9b597a7b3b24595867f3669dd3316c |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
| ISSN: | 02363933 |
|---|