Academic Journal
Математическое моделирование ионной имплантации из импульсного потока плазмы на обрабатываемое изделие в импульсном электрическом поле
| Title: | Математическое моделирование ионной имплантации из импульсного потока плазмы на обрабатываемое изделие в импульсном электрическом поле |
|---|---|
| Source: | Вестник ассоциации вузов туризма и сервиса. |
| Publisher Information: | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Российский государственный университет туризма и сервиса», 2008. |
| Publication Year: | 2008 |
| Subject Terms: | ДИНАМИКА ИМПУЛЬСНОЙ ПЛАЗМЫ,ВЫСОКОВОЛЬТНЫЙ ИМПУЛЬС,КОМПЬЮТЕРНАЯ МОДЕЛЬ,ИМПЛАНТИРУЕМЫЕ ИОНЫ |
| Description: | Разработана компьютерная модель, описывающая динамику импульсной плазмы и процесс формирования потока высокоэнергетических ионов на обрабатываемую поверхность под воздействием отрицательного высоковольтного импульса, подключаемого к обрабатываемому изделию по заданной программе. Модель позволяет рассчитывать поток и энергетический спектр имплантируемых ионов по начальным характеристикам плазмы и техническим параметрам высоковольтной системы с учетом условий включения электрических импульсов. The new computer model describes the dynamics of pulsed plasma and the process of structuring the flow of highenergy ions on the processed surface with the negative high-voltage pulse, connected to the processed product according to a set program. The model calculates the flow and energy spectrum of the implanted ions based on the primary characteristics of plasma, technical parameters of high-voltage system, and the conditions of switching the electrical impulses. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | text/html |
| Language: | Russian |
| ISSN: | 1999-5644 |
| Access URL: | http://cyberleninka.ru/article_covers/10598600.png http://cyberleninka.ru/article/n/matematicheskoe-modelirovanie-ionnoy-implantatsii-iz-impulsnogo-potoka-plazmy-na-obrabatyvaemoe-izdelie-v-impulsnom-elektricheskom |
| Accession Number: | edsair.od......2806..60f7f1a27549bb3ea3ba861e13dc23dd |
| Database: | OpenAIRE |
| ISSN: | 19995644 |
|---|