(2012). Исследование режимов плазмохимического осаждения пленок нанои поликристаллического кремния. Фундаментальные исследования.
Chicago Style (17th ed.) Citation"Исследование режимов плазмохимического осаждения пленок нанои поликристаллического кремния." Фундаментальные исследования 2012.
MLA (9th ed.) Citation"Исследование режимов плазмохимического осаждения пленок нанои поликристаллического кремния." Фундаментальные исследования, 2012.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.