Academic Journal
Специфика деформирования при динамическом индентировании структуры Cu/MgO, полученной методом магнетронного распыления
| Title: | Специфика деформирования при динамическом индентировании структуры Cu/MgO, полученной методом магнетронного распыления |
|---|---|
| Source: | Вестник Тамбовского университета. Серия: Естественные и технические науки. |
| Publisher Information: | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Тамбовский государственный университет имени Г. Р. Державина», 2013. |
| Publication Year: | 2013 |
| Subject Terms: | 0101 mathematics, 01 natural sciences, КОМПОЗИТНЫЕ СТРУКТУРЫ ТИПА «ТОНКИЙ СЛОЙ/ПОДЛОЖКА», МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ДИНАМИЧЕСКОЕ ИНДЕНТИРОВАНИЕ, НАНО-, МИКРОТВЕРДОСТЬ, ВЗАИМОВЛИЯНИЕ ПЛЕНКА/ПОДЛОЖКА, COMPOSITE STRUCTURE CU/MGO OF 'THIN LAYER/ SUBSTRATE INTER-PHASE' TYPE, NANO/MICROHARDNESS, INTER-INFLUENCE FILM/SUBSTRATE INTER-PHASE |
| Description: | Исследованы особенности деформирования при динамическом индентировании в интервале нагрузок 2÷900 мН композитных структур Cu/MgO, полученных методом магнетронного распыления с разной толщиной пленки Cu: 85, 470 и 1000 нм. Проанализирован ход зависимостей твердость/нагрузка, оценен взаимный вклад пленки и подложки в величину нано/микротвердости и высказаны предположения относительно механизма деформации в исследованном интервале нагрузок. Deformation specific under dynamic indentation ( P max = 2÷900 mN) of the Cu/MgO structures are obtained by magnetron sputtering with different Cu thickness: 85, 470 and 1000 nm was studied. The dependence of the hardness/load rated mutual contribution of the film and the substrate in the amount of nano/micro-hardness and assumptions about the mechanism of deformation in the studied range of loads are analyzed. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | text/html |
| Language: | Russian |
| ISSN: | 1810-0198 |
| Access URL: | http://cyberleninka.ru/article/n/spetsifika-deformirovaniya-pri-dinamicheskom-indentirovanii-struktury-cu-mgo-poluchennoy-metodom-magnetronnogo-raspyleniya http://cyberleninka.ru/article_covers/14467304.png |
| Accession Number: | edsair.od......2806..0c5a94c27029231d57f235435540b58d |
| Database: | OpenAIRE |
| ISSN: | 18100198 |
|---|