Academic Journal
Исследование микроструктуры и состава слоев, формируемых в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов на поверхности графита
| Title: | Исследование микроструктуры и состава слоев, формируемых в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов на поверхности графита |
|---|---|
| Publisher Information: | БГТУ, 2020. |
| Publication Year: | 2020 |
| Subject Terms: | ионно-плазменные технологии, осаждение металлов, ионно-ассистируемое осаждение, модифицирование поверхности, графит, формирование легированных поверхностных слоев |
| Description: | Целью данной работы явилось исследование микроструктуры и состава слоев, формируемых в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов на поверхности графита, и распределения в них атомов легирующих элементов. |
| Document Type: | Article |
| File Description: | application/pdf |
| Language: | Russian |
| Access URL: | https://openrepository.ru/article?id=457900 |
| Accession Number: | edsair.httpsopenrep..eee5fcebcaf407ffb6b7c7afa492763e |
| Database: | OpenAIRE |
| Description not available. |