Academic Journal
НЕСТАЦИОНАРНАЯ МОДЕЛЬ ВЧЕ-РАЗРЯДА ПРИ ПОНИЖЕННОМ ДАВЛЕНИИ
| Title: | НЕСТАЦИОНАРНАЯ МОДЕЛЬ ВЧЕ-РАЗРЯДА ПРИ ПОНИЖЕННОМ ДАВЛЕНИИ |
|---|---|
| Contributors: | Казанский (Приволжский) федеральный университет |
| Publisher Information: | 2014. |
| Publication Year: | 2014 |
| Subject Terms: | концентрация метастабилий, Высокочастотный емкостный разряд, электронная и ионная концентрация, электронная температура |
| Description: | В работе представлена нестационарная математическая модель ВЧЕ-разряда в аргоне при пониженных давлениях с учетом влияния метастабильных атомов. Данная модель актуальна как при небольших межэлектродных расстояниях, так и для расстояний порядка 0.2--0.5~м. Для численной реализации математической модели был создан программный комплекс в среде MatLab. В качестве основных параметров пользователем вводится: межэлектродное расстояние, амплитуда напряжения на генераторе, частота генератора, давление газа, число точек сетки по пространственной и временной осям координат, температура газа на электродах. С помощью программного комплекса рассчитываются распределения концентрации ионов, электронов, метастабильных атомов, атомной и электронной температуры на каждом временном слое, полный ток разряда. Дополнительно пользователь может рассчитать параметры ВЧЕ-разряда, усредненные по периоду колебаний электромагнитного поля. Результаты расчетов могут быть представлены как в графическом, так и в табличном представлении. 15-20 |
| Document Type: | Article |
| Access URL: | https://openrepository.ru/article?id=199776 |
| Accession Number: | edsair.httpsopenrep..d4a4bd5d61d1eb53283dd312d4a6998a |
| Database: | OpenAIRE |
| Description not available. |