Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники

Bibliographic Details
Title:	Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники
Contributors:	Сибирский федеральный университет
Publisher Information:	ИНФРА-МСФУ, 2014.
Publication Year:	2014
Subject Terms:	химические газовые сенсоры, 621.382.7(075.8), газовые сенсоры, пьезоэлектрические датчики, сенсорные элементы, магнитометрические датчики, нанотехнологии в сенсорике, сенсоры, наноразмерные сенсоры, сложнооксидные сенсоры (получение), датчики, микроэлектронные датчики, оптические сенсоры
Description:	В учебном пособии раскрывается технологический аспект сенсорики и приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нанотехнологического подхода к изготовлению сенсоров Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Особо выделен технологический акцент получения сложнооксидных сенсоров, которые работают на различных принципах. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов. Приведены данные, полученные автором по технологии изготовления сенсорных материалов. предназначено для студентов и аспирантов, изучающих курс «Современные технологии микро- и наноэлектроники», а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров. Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату. http://catalog.sfu-kras.ru/ftext?621.38%2F%D0%9F207-945641372 Учебное пособие для студентов вузов по направлению 210200.
Document Type:	Book
Language:	Russian
Access URL:	https://openrepository.ru/article?id=449809
Accession Number:	edsair.httpsopenrep..aeb66bebff9c3937fbb5baabd46a7c11
Database:	OpenAIRE

Description
Description not available.