Παραπομπή σε μορφή APA (7η εκδ.)

(2014). Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин.

Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)

Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин. 2014.

Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)

Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин. 2014.