APA (7th ed.) Citation

(2014). Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин. 2014.

MLA (9th ed.) Citation

Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин. 2014.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.