Разработать базовые конструкции и технологию изготовления элементной базы высокотемпературных КМОП БИС в КНИ структурах: отчет о НИР (заключ.)

Bibliographic Details
Title: Разработать базовые конструкции и технологию изготовления элементной базы высокотемпературных КМОП БИС в КНИ структурах: отчет о НИР (заключ.)
Publisher Information: БГУИР, 2013.
Publication Year: 2013
Subject Terms: высокотемпературные схемы, технологический процесс, отчеты о НИР, МОП транзисторы, элементная база, интегральные схемы
Description: Проведен анализ физических процессов, протекающих в полупроводниковых кремниевых МОП структурах в объемном кремнии, при увеличении рабочей температуры выше 125°С. Указаны возможные пути устранения эффектов, приводящих к нарушению работоспособности МОП структур, посредством конструктивных, технологических и схемотехнических решений.
Document Type: External research report
Language: Russian
Access URL: https://openrepository.ru/article?id=216299
Accession Number: edsair.httpsopenrep..6e0a95787b5a91a534d2410d85cbb550
Database: OpenAIRE
Description
Description not available.