Вакуумное ионно-плазменное оборудование для получения наноструктурных материалов

Bibliographic Details
Title: Вакуумное ионно-плазменное оборудование для получения наноструктурных материалов
Contributors: Сибирский федеральный университет, Лепешев, Анатолий Александрович, Ушаков, Анатолий Васильевич, Карпов, Игорь Васильевич
Publisher Information: СФУ, 2012.
Publication Year: 2012
Subject Terms: 621.762:539.2(07), вакуумно-плазменные установки, нанокристаллические покрытия, плазменная обработка материалов, наноматериалы, лабораторные практикумы
Description: В лабораторном практикуме приведены основные требования для выполнения лабораторных работ. Представлены основные сведения о вакуумных сильноточных плазменных технологических устройствах, о вакуумных технологических откачных устройствах, параметры дуговых разрядах низкого давления. Приведены примеры разработки технологических маршрутов для нанесения износостойких нанокристаллических покрытий в вакууме при помощи дугового разряда низкого давления. Предназначен для студентов и магистрантов по направлению 223200.68 «Техническая физика».
Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.
http://catalog.sfu-kras.ru/ftext?621%2F%D0%92148-168419
Лаб. практикум.
Document Type: Book
Language: Russian
Access URL: https://openrepository.ru/article?id=445597
Accession Number: edsair.httpsopenrep..2ec70f07d66d9895bebf5ee897e04254
Database: OpenAIRE
Description
Description not available.