Academic Journal
Размерные эффекты при импульсном отжиге тонких плёнок оксида гафния
| Τίτλος: | Размерные эффекты при импульсном отжиге тонких плёнок оксида гафния |
|---|---|
| Στοιχεία εκδότη: | Тверской государственный университет, 2018. |
| Έτος έκδοσης: | 2018 |
| Θεματικοί όροι: | 537.226.4 Сегнетоэлектричество |
| Περιγραφή: | Исследован размерный эффект остаточной поляризации в тонких пленках оксида гафния, легированного цирконием и подвергнутых импульсному термическому отжигу. Измерена остаточная поляризация структур, содержащих слои Hf0.5Zn0.5O2 с толщиной от 10 до 54 нм. Показано, что с увеличением толщины удвоенная остаточная поляризация уменьшается в 2.5 раза с 16 до 6 мкКл/см2 |
| Τύπος εγγράφου: | Article |
| Περιγραφή αρχείου: | application/pdf |
| Γλώσσα: | Russian |
| Σύνδεσμος πρόσβασης: | https://openrepository.ru/article?id=439040 |
| Αριθμός Καταχώρησης: | edsair.httpsopenrep..2cc54d638663a24f1e652244bbb11263 |
| Βάση Δεδομένων: | OpenAIRE |
καταχωρήστε σχόλιο πρώτοι!